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  産品展示  
産品型號:
産品名稱:

FFU淨化過濾單元

發布時間:
2015/5/13 9:59:26
産品報價:
産品特點:
FFU英文全称为(Fan Filter Unit),中文专业用语为风机过滤机组。FFU风机过滤机组可模块化连接使用,使用FFU广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级等应用场合。
FFU通常安裝在潔淨室的送風末端,一般放置在吊裝的“幹式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分爲風機模塊,下面部分爲過濾器。根據潔淨度的要求,過濾器可爲不同
 
FFU淨化過濾單元的详细资料:

産品介紹

FFU(層流罩)具有特点:
:靈活性。因爲FFU是自帶動力的,它不受區域的限制。在一個偌大的潔淨廠房裏,可根據需要,分區控制。而且,隨著半導體生産工藝的變化,廠房布局必然要作相應調整,FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
第二:可再利用性。從理論上講,一時不用的FFU設備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對于潔淨廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔淨區裏,使得密封變得很簡單而且安全。
第四:縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝,因爲風管在潔淨工程中,占掉很大的建設周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成爲了一種可能。
第五:減少運行成本。雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風管通風高,但它在後期運行中,突出的表現出節能、免維護等特點。用在循環減少40%的運行成本。

FFU性能參數

模數尺寸:FFU常用的標准模數尺寸爲1200X600(4’X2’),1200X900(4’X3’),1200X1200(4’X4’),吊龍骨中心線的間距。
實際尺寸: FFU過濾器的實際尺寸=模數尺寸-(龍骨斷面寬度-25mm),風機模塊的實際尺寸比過濾器稍大4mm。比如說常用的吊龍骨端面寬度爲55mm,模數尺寸爲1200,900,600所對應的FFU過濾器實際尺寸爲1170,870,570,風機模塊的實際尺寸爲1174,874,574。
機外余壓:在某一設定風速下,風機模塊的總靜壓(TSP)扣除HEPA/ULPA過濾器的阻力,即爲機外余壓(ESP),單位是Pa。ESP是指FFU整機能克服潔淨室循環風阻力的能力,無論是標注FFU機外余壓或風機模塊的總靜壓TSP,都必需指名送風風速或風量,否則沒有意義。
輸入能耗:FFU正常運轉時輸入電壓和輸入電流的乘積,單位是W。顯然,FFU在不同的運行工況點,即在不同的運行風量和總靜壓時,輸入能耗不同。因此,如果不指明運行工況點,輸入能耗值沒有意義。
單體噪音:根據標准IES-RP-CC002,FFU正常運轉時在距離出風面中心正下方1.2mm處的噪音值,單位是dB(A)。FFU在不同的運行工況點,即在不同的運行風量和總靜壓時,噪音不同。因此,如果不指明運行工況點,噪音值沒有意義。
微振:根據標准IES-RP-CC002,FFU在運轉工況點時的振動幅度和振動速率,單位分別是mm和mm/s。
送風均勻度:根據標准IES-RP-CC002,FFU正常運轉時,在距離出風面上方150mm(6”)的水平面上測量逐點的風速,得出平均風速值。平均風速與風速和*小風速的偏差比即爲送風均勻度,單位爲+/-%。標准IES-RP-CC002中要求FFU的任一點的送風風速與其平均風速的偏差均應在+/-20%以內。
過濾器效率等級:依據歐洲標准EN1822,過濾器等級從H10-H14,U15-U17。或依據美國標准MIL-282(HEPA),對于0.3um的效率值;依據美國標准IES-RP-CC007.1,對于0.12um的效率值。
 


 

更新时间:2015/10/12 8:43:30

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